Online Journal
電子ジャーナル
IF値: 1.878(2021年)→1.8(2022年)

英文誌(2004-)

Journal of Medical Ultrasonics

一度このページでloginされますと,Springerサイト
にて英文誌のFull textを閲覧することができます.

cover

2009 - Vol.36

Vol.36 No.Supplement

一般口演
基礎:デバイス

(S306)

CMUT技術による超音波プローブの評価

Evaluation of Ultrasound Probe with cMUT Technology

佐光 暁史1, 石田 一成1, 深田 慎1, 浅房 勝徳1, 佐野 秀造1, 泉 美喜雄1, 田中 宏樹2, 町田 俊太郎2, 永田 達也3

Akifumi SAKO1, Kazunari ISHIDA1, Makoto FUKADA1, Katsunori ASAFUSA1, Shuzou SANO1, Mikio IZUMI1, Hiroki TANAKA2, Shuntaro MACHIDA2, Tatsuya NAGATA3

1㈱日立メディコUSシステム本部, 2㈱日立製作所中央研究所, 3㈱日立製作所機械研究所

1Hitachi Medical Corporation, Chiba, Japan, Ultrasound Systems Division, 2Central Research Laboratory, Tokyo, Japan, Hitachi, Ltd., 3Mechanical Engineering Research Laboratory, Ibaraki, Japan, Hitachi, Ltd.

キーワード :

現在,次世代超音波トランスデューサとして,cMUT(Capacitive Micro-machined Ultrasound Transducer)が注目されている.cMUTは,シリコン基板上に設けたナノメートルオーダの空隙を介して超微細な振動膜を多数形成したMEMSデバイスであり,近年数多くの研究がなされている[1][2].cMUTの特長としては,現在広く用いられている圧電型トランストランスデューサと比較し,その動作原理の違い,及び設計自由度の大きさによって,短パルス,超広帯域の音響特性を実現できる可能性がある他,鉛フリー材料であること,低い発熱特性,超微細加工を利用した電気回路混載性,といった点が挙げられる[3][4].このような観点からcMUTを医療用超音波プローブに用いることにより,圧電型トランストランスデューサでは実現できなかった環境負荷の少ない,多様なアプリケーションに対応した高性能プローブを実現できると期待されている.
 今回,我々はcMUTを実装したリニア型超音波プローブを試作し,画像を評価したので報告する.

【参考文献】
[1]M. I. Haller and B. T. Khuri-Yakub, 1994 IEEE Ultrasonics Symp., pp.1241-1244.
[2] C. Daft et al., 2007 IEEE Ultrasonics Symp., pp. 411-415.
[3]田中他,日超医第81回学術集会. 81-A018 (2008).
[4]A.S.Ergun et al, 2007 IEEE Ultrasonics Symp., pp.420-423